Ini adalah
ilustrasi bagaimana chip dibuat. Artikel dan gambar-gambar di bawah ini
mendemonstrasikan tahap-tahap proses bagaimana memproduksi sebuah CPU (central
processing unit), yang digunakan di setiap PC di dunia saat ini. Anda akan
melihat sekilas beberapa pekerjaan yang luar biasa ini dilakukan tiap hari di
pabriknya di Intel.
1.
Sand (Pasir)
Pasir -
terutama Quartz - memiliki persentase tinggi dari Silicon dalam pembentukan
Silicon dioksida (SiO2) dan nerupakan bahan dasar untuk produksi semikonduktor.
Pasir - sekitar 25% masa Silicon yang merupakan senyawa kedua terbanyak -
setelah oksigen - di muka bumi
2.
Silikon Cair
Silikon
dimurnikan dalam tahap berlapis untuk akhirnya nencapai kualitas produksi yang
disebut Electronic Grade Silicon (EGS). EGS mungkin hanya mengandung sebuah
atom asing setiap satu triliun atom Silikonnya. Pada gambar di bawah ini Anda
bisa lihat bagaimana sebuah kristal besar tumbuh dari silikon cair yang
dimurnikan. Hasilnya adalah kristal tunggal yang disebut Ingot.
Silikon cair - skala: level wafer (~300mm / 12 inch)
3.
Kristal Silikon
Tunggal - Ingot
Sebuah ingot
dibuat dari Electronic Grade Silicon. Sebuah ingot memiliki berat sekitar 100
kilogram (220 pound) dan memiliki kemurnian Silicon 99.9999%.
Mono-crystal Silicon Ingot -- scale: wafer level (~300mm / 12 inch)
4.
Pengirisan
Ingot
Ingot kemudian
diiris menjadi disc-disc silikon individual yang disebut wafer.
Ingot Slicing -- scale: wafer level (~300mm / 12 inch)
5.
Wafer
Wafer-wafer ini
dipoles sedemikian rupa hingga tanpa cacat, dengan permukaan selembut kaca
cermin. Intel membeli wafer-wafer siap produksi itu dari perusahaan pihak
ketiga. Process rumit 45nm High-K/Metal Gate oleh Intel menggunakan wafer
dengan diameter 200 milimeter. Saat Intel mulai membuat chip-chip, perusahaan
ini mencetak sirkuit-sirkuit di atas wafer 50 milimeter. Dan untuk saat ini
menggunakan wafer 300mm, yang menghasilkan penghematan biaya per-chip.
Wafer -- scale: wafer level (~300mm / 12 inch)
6.
Mengaplikasikan
Photo Resist
Cairan (warna
biru) yang di tuangkan di atas wafer saat diputar adalah sebuah proses dari
photo resist yang sama seperti yang kita kenal di film untuk fotografi. Wafer
diputar selama tahap ini untuk membuatnya sangat tipis dan bahkan
mengaplikasikan layer photo resist.
Applying Photo Resist -- scale: wafer level (~300mm / 12 inch)
7.
Exposure
Hasil dari
photo resist diekspos ke sinar ultraviolet (UV. Reaksi kimianya ditrigger oleh
tahap pada proses tersebut, sama dengan apa yang terjadi pada material film
pada sebuah kamera saat Anda menekan tombol shutter. Hasil dari photo resist
yang diekspos ke sinar UV akan bersifat dapat larut. Exposure diselesaikan
menggunakan mask yang berfungsi seperti stensil dalam tahap proses ini. Saat
digunakan dengan cahaya UV, mask membentuk pola-pola sirkuit yang bervariasi di
atas tiap layer dari mikroprosesor. Sebuah lensa (di tengah) mengurangi image
dari mask. Sehingga yang dicetak di atas wafer biasanya adalah empat kali lebih
kecil secara linier daripada pola-pola dari mask.
Exposure -- scale: wafer level (~300mm / 12 inch)
8.
Exposure
Meskipun
biasanya ratusan mikroprosesor bisa dihasilkan dari sebuah wafer tunggal,
cerita bergambar ini hanya akan fokus pada sebuah bagian kecil dari sebuah
mikroprosesor, yaitu pada sebuah transistor atau bagian-bagiannya. Sebuah
transistor berfungsi seperti sebuah switch, mengendalikan aliran arus listrik
dalam sebuah chip komputer. Peneliti-peneliti di Intel telah mengembangkan
transistor-transistor yang sangat kecil sehingga sekitar 30 juta transistor
dapat diletakkan pas di kepala sebuah peniti.
Exposure -- scale: transistor level (~50-200nm)
9.
Membersihkan
Photo Resist
Photo resist
yang lengket dilarutkan sempurna oleh suatu pelarut. Proses ini meninggalkan
sebuah pola dari photo resist yang dibuat oleh mask.
Washing off of Photo Resist -- scale: transistor level (~50-200nm)
10.
Etching
(Menggores)
Photo resist
melindungi material yang seharusnya tidak boleh tergores. Material yang
ditinggalkan akan digores (disketch) dengan bahan kimia.
Etching -- scale: transistor level (~50-200nm)
11.
Menghapus Photo
Resist
Setelah proses
Etching, photo resist dihilangkan dan bentuk yang diharapkan menjadi terlihat.
Removing Photo Resist -- scale: transistor level (~50-200nm)
12.
Mengaplikasikan
Photo Resist
Terdapat photo
resist (warna biru) diaplikasikan di sini, diekspos dan photo resist yang
terekspos dibersihkan sebelum tahap berikutnya. Photo resist akan melindungi
material yang seharusnya tidak tertanam ion-ion.
Applying Photo Resist -- scale: transistor level (~50-200nm)
13.
Penanaman Ion
Melalui seuatu
proses yang dinamakan "ion implantation" (satu bentuk proses yang
disebut doping), area-area wafer silikon yang diekspos dibombardir dengan
"kotoran" kimia bervariasi yang disebut Ion-ion. Ion-ion ini ditanam
dalam wafer silikon untuk mengubah silikon pada area ini dalam memperlakukan
listrik. Ion-ion ditembakkan di atas permukaan wafer pada kecepatan tinggi.
Suatu bidang listrik mempercepat ion-ion ini hingga kecepatan 300.000 km/jam.
Ion Implantation -- scale: transistor level (~50-200nm)
14.
Menghilangkan
Photo Resist
Setelah
penanaman ion, photo resist dihilangkan dan material yang seharusnya di-doped
(warna hijau) memiliki atom-atom asing yang sudah tertanam (perhatikan sekilas
variasi warnanya).
Removing Photo Resist -- scale: transistor level (~50-200nm)
15.
Transistor yang
Sudah Siap
Transistor ini
sudah dekat pada proses akhirnya. Tiga lubang telah dibentuk (etching) di dalam
layer insulasi (warna magenta) di atas transistor. Tiga lubang ini akan terisi
dengan tembaga yang akan menghubungkannya ke transistor-transistor lainnya.
Ready Transistor -- scale: transistor level (~50-200nm)
16.
Electroplating
Wafer-wafer
diletakkan ke suatu larutan sulfat tembaga di tahap ini. Ion-ion tembaga
ditanamkan di atas transistor melalui proses yang disebut electroplating.
Ion-ion tembaga bergerak dari terminal positif (anoda) menuju terminal negatif
(katoda) yang dipresentasikan oleh wafer.
Electroplating -- scale: transistor level (~50-200nm)
17.
Tahap Setelah
Electroplating
Pada permukaan
wafer, ion-ion tembaga membentuk menjadi suatu lapisan tipis tembaga.
After Electroplating -- scale: transistor level (~50-200nm)
18.
Pemolesan
Material ekses
dari proses sebelumnya di hilangkan.
Polishing -- scale: transistor level (~50-200nm)
19.
Lapisan Logam
Lapisan-lapisan
metal dibentuk untuk interkoneksi (seperti kabel-kabel) di antara
transistor-transistor. Bagaimana koneksi-koneksi itu tersambungkan ditentukan
oleh tim desain dan arsitektur yang mengembangkan fungsionalitas prosesor
tertentu (misal Intel® Core™ i7 Processor). Sementara chip-chip komputer
terlihat sangat flat, sesungguhnya didalamnya memiliki lebih dari 20 lapisan
yang membentuk sirkuit yang kompleks. Jika Anda melihat pada pembesaran suatu
chip, Anda akan menemukan jaringan yang ruwet dari baris-baris sirkuit dan
transistor-transistor yang mirip sistem jalan raya berlapis di masa depan.
Metal Layers -- scale: transistor level (six transistors combined ~500nm)
20.
Testing Wafer
Bagian dari
sebuah wafer yang sudah jadi ini diambil untuk dilakukan test
fungsionalitasnya. Pada tahap test ini, pola-pola di masukkan ke dalam tiap
chip dan respon dari chip tersebut dimonitor dan dibandingkan dengan daftar
yang sudah ditetapkan.
Wafer Sort Test -- scale: die level (~10mm / ~0.5 inch)
21.
Pengirisan
Wafer
Wafer diiris-iris menjadi bagian-bagian yang disebut Die.
Wafer Slicing -- scale: wafer level (~300mm / 12 inch)
22.
Memisahkan Die
yang Gagal Befungsi
Die-die yang
saat test pola merespon dengan benar akan diambil untuk tahap berikutnya.
Discarding faulty Dies -- scale: wafer level (~300mm / 12 inch)
23.
Individual Die
Ini adalah die
tunggal yang telah jadi pada tahap sebelumnya (pengirisan). Die yang terlihat
di sini adalah die dari sebuah prosesor Intel® Core™ i7.
Individual Die -- scale: die level (~10mm / ~0.5 inch)
24.
Packaging
Bagian dasar,
die, dan heatspreader digabungkan menjadi sebuah prosesor yang lengkap. Bagian
dasar berwarna hijau membentuk interface elektris dan mekanis bagi prosesor
untuk berinteraksi dengan sistem komputer (PC). Heatspreader berwarna silver
berfungsi sebagai pendingin (cooler) untuk menjaga suhu optimal bagi prosesor.
Packaging -- scale: package level (~20mm / ~1 inch)
25.
Prosessor
Inilah prosesor
yang sudah jadi (Intel® Core™ i7 Processor). Sebuah mikroprosesor adalah suatu
produk paling kompleks yang pernah dibuat di muka bumi. Faktanya, dibutuhkan
ratusan langkah - hanya bagian-bagian paling penting saja yang ditampilkan pada
artikel ini - yang dikerjakan di suatu lingkungan kerja terbersih di dunia,
sebuah lab mikroprosesor.
Processor -- scale: package level (~20mm / ~1 inch)
26.
Class Testing
Selama test
terakhir ini, prosesor-prosesor akan ditest untuk key karakteristik mereka
(diantaranya test pemakaian daya dan frekuensi maksimumnya).
Class Testing -- scale: package level (~20mm / ~1 inch)
27.
Binning
Berdasarkan
hasil test dari class testing, prosesor dengan kapabilitas yang sama di
kumpulkan pada transporting trays yang sama pula.
Binning -- scale: package level (~20mm / ~1 inch)
28.
Retail Package
Prosesor-prosesor
yang telah siap dan lolos test akhirnya masuk jalur pemasaran dalam satu
kemasan box.
Retail Package -- scale: package level (~20mm / ~1
inch)